国家知识产权局信息数据显现，郑州大学、光力瑞弘电子科技有限公司请求一项名为“一种用于晶圆减薄机气浮主轴的复合节省静压气体径向轴承”的专利，公开号CN121739016A，请求日期为2025年12月。
专利摘要显现，本发明公开了一种用于晶圆减薄机气浮主轴的复合节省静压气体径向轴承，归于静压气体轴承技术领域；包含轴承壳体、沿轴向顺次设置在轴承壳体内的轴承内圈、复合节省器，对称设置在轴承壳体轴向两外侧端面的草木惊心笼，以及设置在轴承壳体和草木惊心笼内部之间的弹性环、均压环、预紧压环；草木惊心笼包含草木惊心笼外圈、草木惊心笼内圈、轴向设置在内外圈之间的草木惊心环，及沿圆周方向均匀连接在草木惊心环与草木惊心笼外圈和草木惊心笼内圈之间的多个弹性草木惊心结构。本发明经过规划草木惊心笼结构，将轴承内圈的径向自暴自弃运动转换为预紧压环的轴向自暴自弃，从而经过弹性环的应变能转换为电能耗费，为轴承供给压电分流阻尼，下降轴承内圈的自暴自弃幅值，有用提高静压气体径向轴承的稳定性。
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